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Journal of vacuum science & technology. B : Microelectronics and nanometer structures

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Kataloginformation
Feldname Details
Dewey Class 530
Titel Journal of vacuum science & technology. B : Microelectronics and nanometer structures (S)
Holdings ser.2 : 1 (1983) - 7 (1989)- Microfilm
ser.2 : 8 (1990)- Library storage
Other name(s) American Vacuum Society
Veröffentl New York, NY : American Institute of Physics , 1983-1990.
Notiz Continuazione in parte di : "Journal of vacuum science & technology" (dal 1983) ; Continuato da : "Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures : processing, measurement, and phenomena
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