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1 History of vacuum science and technology: a special volume commemorating the 30th anniversary of the American Vacuum Society, 1953-1983 History of vacuum science and technology: a special volume commemorating the 30th anniversary of the American Vacuum Society, 1953-1983 [Monograph ]   1984 Monograph Regalstandort: 533. HIS.
Literaturabteilungen: General.
Anzahl Exemplare: : 1.
2 Journal of vacuum science and technology [Journal]   1964 Journal Regalstandort: Library archive : microfilm.
3 Journal of vacuum science & technology. B : Microelectronics and nanometer structures [Journal]   1983 Journal Regalstandort: Library archive : microfilm ; Library storage.
4 Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures : processing, measurement, and phenomena [Journal]   1991 Journal Regalstandort: Library storage.
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